ಐಟಂ | ತಾಂತ್ರಿಕ ಆಸ್ತಿ | ||
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಕ್ರಿಪ್ಟಾನ್ ಜಿಬಿ/ಟಿ5829-2006 | ಅಲ್ಟ್ರಾಪ್ಯೂರ್ ಕ್ರಿಪ್ಟಾನ್ | ||
Kr ಶುದ್ಧತೆ (ಪರಿಮಾಣ ಭಾಗ)/10-2≥ ≥ ಗಳು | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
ಸಾರಜನಕ (N2) ವಿಷಯ (ಸಂಪುಟ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 2 | ೧.೫ | 0.2 |
ಆಮ್ಲಜನಕ (O2) ವಿಷಯ (ಸಂಪುಟ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | ೧.೫(ಓ2+ಆರ್) | 0.5(ಓ2+ಆರ್) | 0.1 |
ಆರ್ಗಾನ್ (Ar) ಅಂಶ (ಪರಿಮಾಣ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 0.05 | ||
ಹೈಡ್ರೋಜನ್ (H2) ವಿಷಯ (ಸಂಪುಟ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 0.5 | 0.2 | 0.05 |
ಕಾರ್ಬನ್ ಮಾನಾಕ್ಸೈಡ್ (CO) ಅಂಶ (ಪರಿಮಾಣ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
ಇಂಗಾಲದ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ (CO2) ವಿಷಯ (ಸಂಪುಟ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 0.4 | 0.1 | 0.05 |
ಮೀಥೇನ್ (CH4) ವಿಷಯ (ಸಂಪುಟ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
ನೀರು (ಎಚ್2O) ವಿಷಯ (ಪರಿಮಾಣ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 2 | 1 | 0.2 |
ಕ್ಸೆನಾನ್ (Xe) ಅಂಶ (ಪರಿಮಾಣ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 2 | 1 | 0.2 |
ಫ್ಲೋರೈಡ್ (CF)4) ವಿಷಯ (ಸಂಪುಟ ಭಾಗ)/10-6≤ (ಅಂದರೆ) | 1 | 0.2 | 0.05 |
ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಕ್ಷೇತ್ರ: ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮ, ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರ್ವಾತ ಉದ್ಯಮ, ವಿದ್ಯುತ್ ಬೆಳಕಿನ ಮೂಲ ಉದ್ಯಮ, ಹಾಗೆಯೇ ಲೇಸರ್ ಅನಿಲ, ವೈದ್ಯಕೀಯ ಆರೋಗ್ಯ ಮತ್ತು ಇತರ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ