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사불화탄소

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사불화탄소라고도 알려진 테트라플루오로메탄은 가장 단순한 플루오로카본(CF4)입니다.탄소-불소 결합의 특성으로 인해 결합 강도가 매우 높습니다.할로알케인 또는 할로메탄으로 분류될 수도 있습니다.다중 탄소-불소 결합과 불소의 가장 높은 전기음성도 때문에 테트라플루오로메탄의 탄소는 추가적인 이온 특성을 제공하여 4개의 탄소-불소 결합을 강화하고 단축하는 상당한 양의 부분 전하를 갖습니다.테트라플루오로메탄은 강력한 온실가스입니다.

테트라플루오로메탄은 때때로 저온 냉매로 사용됩니다.이는 전자 미세 가공에 단독으로 사용되거나 실리콘, 이산화규소 및 질화규소에 대한 플라즈마 식각액으로 산소와 함께 사용됩니다.

화학식 CF4 분자 무게 88
CAS 번호 75-73-0 EINECS 번호 200-896-5
녹는 점 -184℃ 볼링 포인트 -128.1℃
용해도 물에 불용성 밀도 1.96g/cm3(-184℃)
모습 무색, 무취, 불연성, 압축성 가스 애플리케이션 각종 집적회로의 플라즈마 에칭 공정에 사용되며, 레이저 가스, 냉매 등으로도 사용됩니다.
DOT ID 번호 UN1982 DOT/IMO 배송 이름: 테트라플루오로메탄, 압축 또는 냉매 가스 R14
    DOT 위험 등급 클래스 2.2
안건

가치, 등급 I

가치, 등급 II

단위

청정

≥99.999

≥99.9997

%

O2 

≤1.0

≤0.5

ppmv

N2 

≤4.0

≤1.0

ppmv

CO

≤0.1

≤0.1

ppmv

CO2 

≤1.0

≤0.5

ppmv

SF6 

≤0.8

≤0.2

ppmv

기타 탄화불소

≤1.0

≤0.5

ppmv

H2O

≤1.0

≤0.5

ppmv

H2

≤1.0

——

ppmv

신맛

≤0.1

≤0.1

ppmv

*기타 플루오로카본은 C를 의미함2F6,씨3F8

노트
1) 위에 표시된 모든 기술 데이터는 참고용입니다.
2) 추가 논의를 위한 대체 사양을 환영합니다.


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