Berhem
Gaza Argonê ji bo pîşesaziya elektronîkî (Ar)
| Şanî | Taybetmendiya Teknîkî | |
| Paqijiya Argonê (Ar) (rêjeya qebareyê)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
| Hîdrojen (H2) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 0.1 | 1 |
| Nîtrojen (N2) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 0.5 | 5 |
| Oksîjen (O2) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| Naveroka giştî ya karbonmonoksît (CO) û karbondîoksît (CO2), (beşa qebareyê)/10-6≤ | Karbonmonoksît: 0.1 Karbondîoksît: 0.1 | 0.5 |
| Naveroka tevahî ya hîdrokarbonê (bi metanê hatiye hesabkirin) (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 0.1 | 0.5 |
| Av (H2O) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| Naveroka tevahî ya nepakiyê (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Zad | Ji aliyê Pêşkêşker û Daxwazkar ve li hev hatiye kirin | Ji aliyê Pêşkêşker û Daxwazkar ve li hev hatiye kirin |
| Têbînî: Naveroka avê ya argona şil divê piştî gazkirinê were pîvandin. | ||
Qada sepandinê: bi giranî ji bo paqijkirin, parastin û zextkirina pergalê tê bikar anîn. Ew dikare di danîna buxara kîmyewî, sputtering, plazma û etchantkirina îyonên çalak, germkirin û pêvajoyên cûda yên din, û her weha di gaza tevlihev a taybetî ya elektronîkî de jî were bikar anîn.
Peyama xwe li vir binivîse û ji me re bişîne
