Şanî | Taybetmendiya Teknîkî | ||
Xenonê paqijiya bilind GB/T5828-2006 | Xenonê pir paqij | ||
Paqijiya Xenon (Xe) (rêjeya qebareyê)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
Nîtrojen (N2) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
Oksîjen (O2) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 1.5(O2+Ar) | 0.5(O2+Ar) | 0.1 |
Naveroka Argonê (Ar) (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 0.05 | ||
Hîdrojen (H2) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
Naveroka karbonmonoksîtê (CO) (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO2+CO22) |
Naveroka karbondîoksîtê (CO2) (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
Metan (CH4) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
Av (H2O) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
Naveroka krîptonê (Kr) (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
Oksîda nîtrojenê (N2O) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
Florîd (C2F6) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
Florîd (SF6) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | N/A | N/A | 0.05 |
Warên serîlêdanê: bi giranî di pîşesaziya nîvconductor, hewavaniyê, pîşesaziya çavkaniya ronahiya elektrîkê, dermankirina bijîşkî, valahiya elektrîkê, lêkolîna madeya tarî, lazer û warên din de tê bikar anîn.