пункт | Техникалык мүлк | ||
Жогорку тазалыктагы ксенон GB/T5828-2006 | Өтө таза ксенон | ||
Ксенон (Xe) тазалыгы (көлөмдүк бөлүгү)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
азот (Н2) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
Кычкылтек (О2) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 1,5(О2+Ar) | 0,5(О2+Ar) | 0.1 |
Аргон (Ar) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 0,05 | ||
Суутек (H2) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0,05 |
Көмүртек кычкылы (СО) курамы (көлөмдүк үлүшү)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0,05(CO+CO2) |
Көмүр кычкыл газынын (СО2) курамы (көлөмдүк үлүшү)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
Метан (CH4) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0,05 |
Суу (Х2О) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
Криптондук (Kr) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
Азот оксиди (N2О) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0,05 |
Фторид (C2F6) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0,05 |
Фторид (SF6) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | Жок | Жок | 0,05 |
Колдонуу тармактары: негизинен жарым өткөргүч өнөр жайында, аэрокосмостук, электр жарык булагы тармагында, медициналык дарылоодо, электр вакуумда, караңгы затты изилдөөдө, лазердик жана башка тармактарда колдонулат