пункт | Техникалык мүлк | ||
Таза азот | Жогорку таза азот | Өтө таза азот | |
азот (Н2) тазалыгы (көлөмдүк бөлүгү)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99.9999 |
Кычкылтек (О2) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
Аргон (Ar) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | - | - | 2 |
Суутек (H2) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
Көмүртек кычкылы (СО) курамы (көлөмдүк үлүшү)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Көмүр кычкыл газы (CO2) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
Метан (CH4) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Суу (Х2О) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |