пункт | Техникалык мүлк | ||
Таза кычкылтек | Жогорку тазалыктагы кычкылтек | Өтө таза кычкылтек | |
Кычкылтек (О2) тазалыгы (көлөмдүк бөлүгү)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Суутек (H2) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Аргон (Ar) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
азот (Н2) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
Көмүр кычкыл газы (CO2) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Жалпы углеводороддун курамы (көлөмдүк үлүшү) (метан менен эсептелген)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
Суу (Х2О) мазмуну (көлөмдүк бөлүгү)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Колдонуу чөйрөсү: негизинен стандарттуу газ аралашмасын даярдоодо, илимий изилдөөдө, интегралдык микросхемалардын жана жарым өткөргүч аппараттардын өндүрүшүндө жана кычкылтектин тазалыгына жогорку талаптар коюлган башка тармактарда колдонулат.