Produkter
Argongas fir d'Elektronikindustrie (Ar)
| Artikel | Technesch Eegeschaften | |
| Argon (Ar) Rengheet (Volumenundeel)/10-2≥ | 99.9999 | 99,9992 |
| Waasserstoff (H2) Inhalt (Volumenundeel)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
| Stéckstoff (N2) Inhalt (Volumenundeel)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
| Sauerstoff (O2) Inhalt (Volumenundeel)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Gesamtgehalt u Kuelemonoxid (CO) a Kuelendioxid (CO)2), (Volumenundeel)/10-6≤ | Kuelemonoxid: 0,1 Kuelendioxid: 0,1 | 0,5 |
| Gesamtgehalt u Kuelewaasserstoffer (berechent duerch Methan) (Volumenundeel)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
| Waasser (H2O) Inhalt (Volumenundeel)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Gesamtgehalt vun Onreinheeten (Volumenundeel)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Kären | Vum Liwwerant an dem Ufroer ausgemaach | Vum Liwwerant an dem Ufroer ausgemaach |
| Bemierkung: De Waassergehalt vu flëssegem Argon soll no der Vergasung gemooss ginn. | ||
Uwendungsberäich: Haaptsächlech fir d'Spülung, de Schutz an d'Drocksetzung vum System benotzt. Et kann och a chemescher Dampfabsetzung, Sputtering, Plasma- an Aktiv-Ionenätzmëttel, Glühen an aner verschidde Prozesser, souwéi am elektronesche Spezialmëschgas benotzt ginn.
Schreift Är Noriicht hei a schéckt se eis
