ລາຍການ | ຊັບສິນດ້ານວິຊາການ | ||
xenon ຄວາມບໍລິສຸດສູງ GB/T5828-2006 | xenon ບໍລິສຸດ | ||
ຄວາມບໍລິສຸດ Xenon (Xe) (ສ່ວນສ່ວນປະລິມານ)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
ໄນໂຕຣເຈນ (ນ2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
ອົກຊີເຈນ (O2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 1.5(ອ2+ອາ) | 0.5(ອ2+ອາ) | 0.1 |
ເນື້ອໃນ Argon (Ar) (ສ່ວນສ່ວນຂອງປະລິມານ)/10-6≤ | 0.05 | ||
ໄຮໂດຣເຈນ (H2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
ເນື້ອໃນຂອງຄາບອນໂມໂນໄຊ (CO) (ສ່ວນຂອງປະລິມານ)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
ເນື້ອໃນຂອງຄາບອນໄດອອກໄຊ (CO2) (ສ່ວນຂອງປະລິມານ)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
ມີເທນ (ຊ4) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
ນ້ໍາ (H2O) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນຫນຶ່ງປະລິມານ)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
ເນື້ອໃນ Krypton (Kr) (ສ່ວນຫນຶ່ງປະລິມານ)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
ໄນໂຕຣອສອອກໄຊ (N2O) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນຫນຶ່ງປະລິມານ)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
ຟລູອໍໄລ (ຄ2F6) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
ຟລູອໍໄລ (SF6) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | ບໍ່ມີ | ບໍ່ມີ | 0.05 |
ຂົງເຂດຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ: ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ການບິນອະວະກາດ, ອຸດສາຫະກໍາແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງໄຟຟ້າ, ການປິ່ນປົວທາງການແພດ, ສູນຍາກາດໄຟຟ້າ, ການຄົ້ນຄວ້າບັນຫາຊ້ໍາ, laser ແລະຂົງເຂດອື່ນໆ