ລາຍການ | ຊັບສິນດ້ານວິຊາການ | ||
ໄນໂຕຣເຈນບໍລິສຸດ | ໄນໂຕຣເຈນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ | ໄນໂຕຣເຈນພິເສດ | |
ໄນໂຕຣເຈນ (ນ2) ຄວາມບໍລິສຸດ (ສ່ວນປະລິມານ) / 10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
ອົກຊີເຈນ (O2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
ເນື້ອໃນ Argon (Ar) (ສ່ວນສ່ວນຂອງປະລິມານ)/10-6≤ | - | - | 2 |
ໄຮໂດຣເຈນ (H2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
ເນື້ອໃນຂອງຄາບອນໂມໂນໄຊ (CO) (ສ່ວນຂອງປະລິມານ)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
ຄາບອນໄດອອກໄຊ (CO2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
ມີເທນ (ຊ4) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
ນ້ໍາ (H2O) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນຫນຶ່ງປະລິມານ)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |