ລາຍການ | ຊັບສິນດ້ານວິຊາການ | ||
ອົກຊີເຈນທີ່ບໍລິສຸດ | ອົກຊີເຈນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ | ອົກຊີເຈນທີ່ບໍລິສຸດ | |
ອົກຊີເຈນ (O2) ຄວາມບໍລິສຸດ (ສ່ວນປະລິມານ) / 10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
ໄຮໂດຣເຈນ (H2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
ເນື້ອໃນ Argon (Ar) (ສ່ວນສ່ວນຂອງປະລິມານ)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
ໄນໂຕຣເຈນ (ນ2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
ຄາບອນໄດອອກໄຊ (CO2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
ປະລິມານໄຮໂດຄາບອນທັງໝົດ (ສ່ວນປະລິມານ) (ຄິດໄລ່ໂດຍມີເທນ)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
ນ້ໍາ (H2O) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນຫນຶ່ງປະລິມານ)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
ພາກສະຫນາມຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ: ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນການກະກຽມການປະສົມອາຍແກັສມາດຕະຖານ, ການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດ, ການຜະລິດຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານແລະອຸປະກອນ semiconductor, ແລະຂົງເຂດອື່ນໆທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການສູງສໍາລັບຄວາມບໍລິສຸດອົກຊີເຈນ.