zavatra | Fananana ara-teknika | ||
Krypton madio tsara GB/T5829-2006 | Krypton ultrapure | ||
Kr fahadiovana (ampahany boky)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
Nitrogène (N2) votoaty (ampahan'ny boky)/10-6≤ | 2 | 1.5 | 0.2 |
Oksizenina (O2) votoaty (ampahan'ny boky)/10-6≤ | 1.5 (O2+Ar) | 0.5 (O2+Ar) | 0.1 |
Argôna (Ar) afa-po (ampahany voky)/10-6≤ | 0.05 | ||
Hydrogène (H2) votoaty (ampahan'ny boky)/10-6≤ | 0.5 | 0.2 | 0.05 |
Ny votoatin'ny karbônina (CO) (ampahan'ny boky)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
gazy karbonika (CO2) votoaty (ampahan'ny boky)/10-6≤ | 0.4 | 0.1 | 0.05 |
Metana (CH4) votoaty (ampahan'ny boky)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
Rano (H2O) votoaty (ampahan'ny boky)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.2 |
Votoatin'ny Xenon (Xe) (ampahan'ny boky)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.2 |
Fluoride (CF4) votoaty (ampahan'ny boky)/10-6≤ | 1 | 0.2 | 0.05 |
Fampiharana saha: ampiasaina indrindra amin'ny indostria semiconductor, indostrian'ny banga elektrika, indostrian'ny hazavana elektrika, ary koa ny entona laser, ny fahasalamana ara-pahasalamana ary ny sehatra hafa