zavatra | Fananana ara-teknika | ||
Oksizenina madio | Oksizenina madio tsara | Oxygène ultrapure | |
Oksizenina (O2) fahadiovana (ampahany boky)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Hydrogène (H2) votoaty (ampahan'ny boky)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Argôna (Ar) afa-po (ampahany voky)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
Nitrogène (N2) votoaty (ampahan'ny boky)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
gazy karbonika (CO2) votoaty (ampahan'ny boky)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Total votoaty hydrocarbon (ampahan'ny voly) (kajy amin'ny metana)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
Rano (H2O) votoaty (ampahan'ny boky)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Fampiharana saha: indrindra ampiasaina amin'ny fanomanana ny mahazatra entona fifangaroana, fikarohana siantifika, famokarana ny Integrated faritra sy ny semiconductor fitaovana, ary ny saha hafa amin'ny fepetra avo oksizenina fahadiovana.