Зүйл | Техникийн өмч | ||
Өндөр цэвэршилттэй ксенон GB/T5828-2006 | Хэт цэвэр ксенон | ||
Ксенон (Xe) цэвэршилт (эзэлхүүний хэсэг)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
Азот (Н2) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
Хүчилтөрөгч (О2) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 1.5(О2+Ar) | 0.5(О2+Ar) | 0.1 |
Аргон (Ar) агууламж (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 0.05 | ||
Устөрөгч (H2) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
Нүүрстөрөгчийн дутуу ислийн (CO) агууламж (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
Нүүрстөрөгчийн давхар ислийн (CO2) агууламж (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
Метан (CH4) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
Ус (H2O) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
Криптон (Kr) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
Азотын исэл (N2O) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
Фтор (C2F6) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
Фтор (SF6) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | Үгүй | Үгүй | 0.05 |
Хэрэглээний талбар: голчлон хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, сансар огторгуй, цахилгаан гэрлийн эх үүсвэрийн үйлдвэрлэл, эмнэлгийн эмчилгээ, цахилгаан вакуум, харанхуй бодисын судалгаа, лазер болон бусад салбарт ашигладаг.