Зүйл | Техникийн өмч | ||
Цэвэр азот | Өндөр цэвэршилттэй азот | Хэт цэвэр азот | |
Азот (Н2) цэвэршилт (эзэлхүүний хэсэг)/10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
Хүчилтөрөгч (О2) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
Аргон (Ar) агууламж (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | - | - | 2 |
Устөрөгч (H2) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
Нүүрстөрөгчийн дутуу ислийн (CO) агууламж (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Нүүрстөрөгчийн давхар исэл (CO2) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
Метан (CH4) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Ус (H2O) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |