अनुप्रयोग क्षेत्र: प्रामुख्याने मानक वायू मिश्रण तयार करणे, वैज्ञानिक संशोधन, एकात्मिक सर्किट आणि सेमीकंडक्टर उपकरणांचे उत्पादन आणि ऑक्सिजन शुद्धतेसाठी उच्च आवश्यकता असलेल्या इतर क्षेत्रांमध्ये वापरले जाते.