Produk
Karbon Tetrafluorida
Tetrafluoromethane, juga dikenali sebagai karbon tetrafluorida, adalah fluorokarbon (CF4) yang paling ringkas.Ia mempunyai kekuatan ikatan yang sangat tinggi kerana sifat ikatan karbon-fluorin.Ia juga boleh dikelaskan sebagai haloalkana atau halometana.Oleh kerana ikatan karbon-fluorin berbilang, dan keelektronegatifan tertinggi bagi fluorin, karbon dalam tetrafluorometana mempunyai cas separa positif yang ketara yang menguatkan dan memendekkan empat ikatan karbon-fluorin dengan memberikan watak ionik tambahan.Tetrafluoromethane ialah gas rumah hijau yang kuat.
Tetrafluoromethane kadangkala digunakan sebagai penyejuk suhu rendah.Ia digunakan dalam mikrofabrikasi elektronik sahaja atau digabungkan dengan oksigen sebagai etsa plasma untuk silikon, silikon dioksida, dan silikon nitrida.
| Formula kimia | CF4 | Berat molekul | 88 |
| CAS No. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| Takat lebur | -184 ℃ | Titik boling | -128.1 ℃ |
| keterlarutan | Tidak larut dalam air | Ketumpatan | 1.96g/cm³（-184℃） |
| Penampilan | Gas tidak berwarna, tidak berbau, tidak mudah terbakar, boleh mampat | Permohonan | digunakan dalam proses etsa plasma untuk pelbagai litar bersepadu, dan digunakan juga sebagai gas laser, penyejuk dsb. |
| Nombor ID DOT | UN1982 | NAMA PENGHANTARAN DOT/IMO: | Tetrafluoromethane, Gas Mampat atau Bahan Penyejuk R14 |
| Kelas Bahaya DOT | Kelas 2.2 |
| item | Nilai, gred I | Nilai, gred II | Unit |
| Kesucian | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Fluorokarbon lain | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Keasidan | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *fluorokarbon lain merujuk kepada C2F6、C3F8 | |||
Nota
1) semua data teknikal yang dinyatakan di atas adalah untuk rujukan anda.
2) spesifikasi alternatif adalah dialu-alukan untuk perbincangan lanjut.
