item | Harta Teknikal | ||
Oksigen tulen | Oksigen ketulenan tinggi | Oksigen ultratulen | |
Oksigen (O2) ketulenan (pecahan isipadu)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Hidrogen (H2) kandungan (pecahan isipadu)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Kandungan Argon (Ar) (pecahan isipadu)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
Nitrogen (N2) kandungan (pecahan isipadu)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
Karbon dioksida (CO2) kandungan (pecahan isipadu)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Jumlah kandungan hidrokarbon (pecahan isipadu) (dikira dengan metana)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
Air (H2O) kandungan (pecahan isipadu)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Bidang aplikasi: digunakan terutamanya dalam penyediaan campuran gas standard, penyelidikan saintifik, pengeluaran litar bersepadu dan peranti semikonduktor, dan bidang lain dengan keperluan tinggi untuk ketulenan oksigen.