Prodotti
Tetrafluworidu tal-Karbonju
Tetrafluoromethane, magħruf ukoll bħala tetrafluoride tal-karbonju, huwa l-aktar fluworokarbon sempliċi (CF4).Għandu qawwa ta 'twaħħil għolja ħafna minħabba n-natura tar-rabta karbonju-fluworin.Jista 'wkoll jiġi kklassifikat bħala haloalkane jew halomethane.Minħabba l-bonds multipli tal-karbonju-fluworin, u l-ogħla elettronegatività tal-fluworin, il-karbonju fit-tetrafluoromethane għandu ċarġ parzjali pożittiv sinifikanti li jsaħħaħ u jqassar l-erba 'rabtiet karbonju-fluworin billi jipprovdi karattru joniku addizzjonali.It-tetrafluoromethane huwa gass serra qawwi.
Tetrafluoromethane kultant jintuża bħala refriġerant b'temperatura baxxa.Jintuża fil-mikrofabbrikazzjoni elettronika waħdu jew flimkien ma 'ossiġnu bħala etchant fil-plażma għas-silikon, dijossidu tas-silikon u nitrur tas-silikon.
| Formula kimika | CF4 | Piż molekulari | 88 |
| CAS Nru. | 75-73-0 | EINECS Nru. | 200-896-5 |
| Punt tat-tidwib | -184℃ | Punt tal-boling | -128.1℃ |
| solubilità | Ma jinħallx fl-ilma | Densità | 1.96g/ċm³ (-184 ℃) |
| Dehra | Gass kompressibbli bla kulur, bla riħa, li ma jaqbadx | Applikazzjoni | użat fil-proċess ta 'inċiżjoni tal-plażma għal diversi ċirkwiti integrati, u użat ukoll bħala gass tal-laser, refriġerant eċċ. |
| Numru ID DOT | UN1982 | ISEM TAL-BAĦAR DOT/IMO: | Tetrafluoromethane, Gass Kompressat jew Refriġerant R14 |
| Klassi ta' Periklu DOT | Klassi 2.2 |
| Oġġett | Valur, grad I | Valur, grad II | Unità |
| Purità | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Fluworokarbonji oħra | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Aċidità | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *fluworokarbonji oħra jirreferu għal C2F6、C3F8 | |||
Noti
1) id-dejta teknika kollha indikata hawn fuq hija għar-referenza tiegħek.
2) speċifikazzjoni alternattiva hija milqugħa għal aktar diskussjoni.
