Producten
Koolstoftetrafluoride
Tetrafluormethaan, ook bekend als koolstoftetrafluoride, is de eenvoudigste fluorkoolstof (CF4).Het heeft een zeer hoge hechtsterkte vanwege de aard van de koolstof-fluorbinding.Het kan ook worden geclassificeerd als een haloalkaan of halomethaan.Vanwege de meervoudige koolstof-fluorbindingen en de hoogste elektronegativiteit van fluor, heeft de koolstof in tetrafluormethaan een significante positieve partiële lading die de vier koolstof-fluorbindingen versterkt en verkort door een extra ionisch karakter te geven.Tetrafluormethaan is een krachtig broeikasgas.
Tetrafluormethaan wordt soms gebruikt als koelmiddel bij lage temperatuur.Het wordt alleen of in combinatie met zuurstof gebruikt bij microfabricage van elektronica als plasma-etsmiddel voor silicium, siliciumdioxide en siliciumnitride.
| Chemische formule | CF4 | Moleculair gewicht | 88 |
| CAS-nr. | 75-73-0 | EINECS-nr. | 200-896-5 |
| Smeltpunt | -184℃ | Bolend punt | -128,1 ℃ |
| oplosbaarheid | Onoplosbaar in water | Dikte | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Verschijning | Een kleurloos, reukloos, niet-ontvlambaar, samendrukbaar gas | Sollicitatie | gebruikt in het plasma-etsproces voor verschillende geïntegreerde schakelingen, en ook gebruikt als lasergas, koelmiddel enz. |
| DOT ID-nummer | UN1982 | DOT/IMO VERZENDNAAM: | Tetrafluormethaan, gecomprimeerd of koelgas R14 |
| DOT gevarenklasse | Klasse 2.2 |
| Item | Waarde, klasse I | Waarde, klasse II | Eenheid |
| Puurheid | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Andere fluorkoolwaterstoffen | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Zuurgraad | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *andere fluorkoolwaterstoffen verwijzen naar C2F6,C3F8 | |||
Notities
1) alle hierboven vermelde technische gegevens zijn ter referentie.
2) alternatieve specificatie is welkom voor verdere discussie.
