Punkt | Teknisk egenskap | |
Argon (Ar) renhet (volumfraksjon)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
Hydrogen (H2) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
Nitrogen (N2) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
Oksygen (O2) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
Totalt innhold av karbonmonoksid (CO) og karbondioksid (CO)2), (volumfraksjon)/10-6≤ | Karbonmonoksid: 0,1 Karbondioksid: 0,1 | 0,5 |
Totalt hydrokarboninnhold (beregnet med metan) (volumfraksjon)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
Vann (H2O) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
Totalt urenhetsinnhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 1 | 8 |
Korn | Avtalt mellom leverandør og etterspørrer | Avtalt mellom leverandør og etterspørrer |
Merk: Vanninnholdet i flytende argon skal måles etter forgassingen. |
Bruksområde: Brukes hovedsakelig til spyling, beskyttelse og trykksetting av systemet. Det kan også brukes i kjemisk dampavsetning, sputtering, plasma- og aktivt ionetsingsmiddel, gløding og andre forskjellige prosesser, samt i elektronisk spesialblandet gass.