Punkt | Teknisk egenskap | ||
Rent oksygen | Høyrent oksygen | Ultrarent oksygen | |
Oksygen (O2) renhet (volumfraksjon)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,9999 |
Hydrogen (H2) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Argoninnhold (Ar) (volumfraksjon)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Nitrogen (N2) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Karbondioksid (CO2) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Totalt hydrokarboninnhold (volumfraksjon) (beregnet med metan)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Vann (H2O) innhold (volumfraksjon)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Bruksfelt: Brukes hovedsakelig i fremstilling av standard gassblanding, vitenskapelig forskning, produksjon av integrerte kretser og halvlederenheter, og andre felt med høye krav til oksygenrenhet.