Przedmiot | Własność techniczna | |
Czystość argonu (Ar) (ułamek objętościowy)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
Wodór (H2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
Azot (N2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
Tlen (O2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
Całkowita zawartość tlenku węgla (CO) i dwutlenku węgla (CO2), (ułamek objętości)/10-6≤ | Tlenek węgla: 0,1 Dwutlenek węgla: 0,1 | 0,5 |
Całkowita zawartość węglowodorów (obliczona na podstawie metanu) (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
Woda (H2O) zawartość (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
Całkowita zawartość zanieczyszczeń (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 1 | 8 |
Ziarno | Uzgodnione przez Dostawcę i Żądającego | Uzgodnione przez Dostawcę i Żądającego |
Uwaga: Zawartość wody w ciekłym argonie należy mierzyć po zgazowaniu |
Obszar zastosowania: głównie do oczyszczania, ochrony i sprężania systemu. Może być również stosowany w chemicznym osadzaniu z fazy gazowej, rozpylaniu, trawieniu plazmowym i aktywnym jonem, wyżarzaniu i innych różnych procesach, a także w elektronicznym specjalnym mieszanym gazie.