Przedmiot | Własność techniczna |
Hel o wysokiej czystości | |
Czystość helu He (ułamek objętościowy)/10-2≥ | 99,999 |
Zawartość neonu (Ne) (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 4 |
Wodór (H2) zawartość (ułamek objętości)/10-6 ≤ | 1 |
Tlen (O2) zawartość (ułamek objętości)/10-6 ≤ | 1 |
Zawartość argonu (Ar) (ułamek objętościowy)/10-6 ≤ | |
Azot (N2) zawartość (ułamek objętości)/10-6 ≤ | 2 |
Zawartość tlenku węgla (CO) (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 0,5 |
Dwutlenek węgla (CO2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 0,5 |
Metan (CH4) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 0,5 |
Woda H2Zawartość O (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 3 |
Łączna zawartość czasopisma/10-6≤ | 10 |