Przedmiot | Własność techniczna | ||
Wysokiej czystości ksenon GB/T5828-2006 | Ultraczysty ksenon | ||
Czystość ksenonu (Xe) (ułamek objętościowy)/10-2≥ | 99,999 | 99,9995 | 99,9999 |
Azot (N2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 2,5 | 1,5 | 0,2 |
Tlen (O2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 1,5(O)2+Ar) | 0,5(O)2+Ar) | 0,1 |
Zawartość argonu (Ar) (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 0,05 | ||
Wodór (H2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 0,5 | 0,5 | 0,05 |
Zawartość tlenku węgla (CO) (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05(CO+CO2) |
Zawartość dwutlenku węgla (CO2) (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | |
Metan (CH4) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Woda (H2O) zawartość (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Zawartość kryptonu (Kr) (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Podtlenek azotu (N2O) zawartość (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 |
Fluorek (C2F6) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 0,5 | 0,1 | 0,05 |
Fluorek (SF6) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | Brak | Brak | 0,05 |
Obszary zastosowań: głównie w przemyśle półprzewodnikowym, lotniczym, przemyśle źródeł światła elektrycznego, leczeniu medycznym, próżni elektrycznej, badaniach nad ciemną materią, laserach i innych dziedzinach