Przedmiot | Własność techniczna | ||
Czysty azot | Wysokiej czystości azot | Ultraczysty azot | |
Azot (N2) czystość (ułamek objętościowy)/10-2≥ | 99,99 | 99,999 | 99,9999 |
Tlen (O2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
Zawartość argonu (Ar) (ułamek objętościowy)/10-6≤ | - | - | 2 |
Wodór (H2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
Zawartość tlenku węgla (CO) (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Dwutlenek węgla (CO2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
Metan (CH4) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Woda (H2O) zawartość (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |