Przedmiot | Własność techniczna | ||
Czysty tlen | Tlen o wysokiej czystości | Tlen ultraczysty | |
Tlen (O2) czystość (ułamek objętościowy)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,9999 |
Wodór (H2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Zawartość argonu (Ar) (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Azot (N2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Dwutlenek węgla (CO2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Całkowita zawartość węglowodorów (ułamek objętościowy) (obliczona na podstawie metanu)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Woda (H2O) zawartość (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Obszar zastosowania: głównie do przygotowywania standardowych mieszanek gazowych, badań naukowych, produkcji układów scalonych i urządzeń półprzewodnikowych oraz innych obszarów o wysokich wymaganiach dotyczących czystości tlenu.