Item | Propriedade Técnica |
Hélio de alta pureza | |
Pureza do hélio He (fração de volume)/10-2≥ | 99.999 |
Conteúdo de néon (Ne) (fração de volume)/10-6≤ | 4 |
Hidrogênio (H2) conteúdo (fração de volume)/10-6 ≤ | 1 |
Oxigênio (O2) conteúdo (fração de volume)/10-6 ≤ | 1 |
Conteúdo de argônio (Ar) (fração de volume)/10-6 ≤ | |
Nitrogênio (N2) conteúdo (fração de volume)/10-6 ≤ | 2 |
Conteúdo de monóxido de carbono (CO) (fração de volume)/10-6≤ | 0,5 |
Dióxido de carbono (CO2) conteúdo (fração de volume)/10-6≤ | 0,5 |
Metano (CH4) conteúdo (fração de volume)/10-6≤ | 0,5 |
Água H2Conteúdo de O (fração de volume)/10-6≤ | 3 |
Conteúdo total da revista/10-6≤ | 10 |