Položka | Technické vlastnosti | ||
Čistý dusík | Vysoko čistý dusík | Ultračistý dusík | |
Dusík (N2) čistota (objemový zlomok)/10-2≥ | 99,99 | 99,999 | 99,9999 |
Kyslík (O2) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
Obsah argónu (Ar) (objemový zlomok)/10-6≤ | - | - | 2 |
Vodík (H2) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
Obsah oxidu uhoľnatého (CO) (objemový zlomok)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Oxid uhličitý (CO2) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
Metán (CH4) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Voda (H2obsah O) (objemový zlomok)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |