Izdelki
Ogljikov tetrafluorid
Tetrafluorometan, znan tudi kot ogljikov tetrafluorid, je najpreprostejši fluoroogljikov (CF4).Zaradi narave vezi ogljik-fluor ima zelo visoko trdnost lepljenja.Lahko ga razvrstimo tudi kot haloalkan ali halometan.Zaradi večkratnih vezi ogljik–fluor in največje elektronegativnosti fluora ima ogljik v tetrafluorometanu pomemben pozitivni delni naboj, ki okrepi in skrajša štiri vezi ogljik–fluor z zagotavljanjem dodatnega ionskega značaja.Tetrafluorometan je močan toplogredni plin.
Tetrafluorometan se včasih uporablja kot nizkotemperaturno hladilno sredstvo.Uporablja se v mikroizdelavi elektronike sam ali v kombinaciji s kisikom kot plazemsko jedkalo za silicij, silicijev dioksid in silicijev nitrid.
| Kemijska formula | CF4 | Molekularna teža | 88 |
| št. CAS | 75-73-0 | št. EINECS | 200-896-5 |
| Tališče | -184 ℃ | Boling točka | -128,1 ℃ |
| topnost | Netopen v vodi | Gostota | 1,96 g/cm³（-184℃） |
| Videz | Brezbarven, nevnetljiv, stisljiv plin brez vonja | Aplikacija | uporablja se v procesu plazemskega jedkanja za različna integrirana vezja in se uporablja tudi kot laserski plin, hladilno sredstvo itd. |
| ID številka DOT | UN1982 | DOT/IMO DOSTAVNO IME: | Tetrafluorometan, stisnjen ali hladilni plin R14 |
| Razred nevarnosti DOT | Razred 2.2 |
| Postavka | Vrednost, razred I | Vrednost, ocena II | Enota |
| Čistost | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Drugi fluoroogljikovodiki | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Kislost | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *drugi fluoroogljikovodiki se nanašajo na C2F6、C3F8 | |||
Opombe
1) vsi zgoraj navedeni tehnični podatki so za vašo referenco.
2) alternativna specifikacija je dobrodošla za nadaljnjo razpravo.
