Predmet | Tehnična lastnina | ||
Visoko čist kripton GB/T5829-2006 | Ultračisti kripton | ||
Čistost Kr (volumski delež)/10-2≥ | 99,999 | 99,9995 | 99,9999 |
Dušik (N2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 2 | 1,5 | 0,2 |
Kisik (O2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 1,5(O)2+Ar) | 0,5(O)2+Ar) | 0,1 |
Vsebnost argona (Ar) (volumski delež)/10-6≤ | 0,05 | ||
Vodik (H2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 0,5 | 0,2 | 0,05 |
Vsebnost ogljikovega monoksida (CO) (volumski delež)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Ogljikov dioksid (CO2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 0,4 | 0,1 | 0,05 |
Metan (CH4) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Voda (H2vsebnost O) (volumski delež)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,2 |
Vsebnost ksenona (Xe) (volumski delež)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,2 |
Fluorid (CF4) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 1 | 0,2 | 0,05 |
Področje uporabe: uporablja se predvsem v polprevodniški industriji, industriji električnega vakuuma, industriji električnih svetlobnih virov, pa tudi v industriji laserskih plinov, zdravstva in drugih področjih