Predmet | Tehnična lastnina | ||
Čisti dušik | Visoko čist dušik | Ultračisti dušik | |
Dušik (N2) čistost (volumski delež)/10-2≥ | 99,99 | 99,999 | 99,9999 |
Kisik (O2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
Vsebnost argona (Ar) (volumski delež)/10-6≤ | - | - | 2 |
Vodik (H2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
Vsebnost ogljikovega monoksida (CO) (volumski delež)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Ogljikov dioksid (CO2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
Metan (CH4) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Voda (H2vsebnost O) (volumski delež)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |