Predmet | Tehnična lastnina | ||
Čisti kisik | Visoko čist kisik | Ultračisti kisik | |
Kisik (O2) čistost (volumski delež)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,9999 |
Vodik (H2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Vsebnost argona (Ar) (volumski delež)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Dušik (N2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Ogljikov dioksid (CO2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Skupna vsebnost ogljikovodikov (volumski delež) (izračunano z metanom)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Voda (H2vsebnost O) (volumski delež)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Področje uporabe: uporablja se predvsem pri pripravi standardnih plinskih mešanic, znanstvenih raziskavah, proizvodnji integriranih vezij in polprevodniških naprav ter na drugih področjih z visokimi zahtevami glede čistosti kisika.