Производи
Царбон Тетрафлуориде
Тетрафлуорометан, такође познат као угљен-тетрафлуорид, је најједноставнији флуороугљеник (ЦФ4).Има веома високу снагу везе због природе везе угљеник-флуор.Такође се може класификовати као халоалкан или халометан.Због вишеструких веза угљеник-флуор и највеће електронегативности флуора, угљеник у тетрафлуорометану има значајан позитивни делимични набој који јача и скраћује четири везе угљеник-флуор дајући додатни јонски карактер.Тетрафлуорометан је моћан гас стаклене баште.
Тетрафлуорометан се понекад користи као расхладно средство ниске температуре.Користи се у микропроизводњи електронике сам или у комбинацији са кисеоником као средство за нагризање у плазми за силицијум, силицијум диоксид и силицијум нитрид.
| Хемијска формула | ЦФ4 | Молекуларна тежина | 88 |
| ЦАС бр. | 75-73-0 | ЕИНЕЦС бр. | 200-896-5 |
| Тачка топљења | -184℃ | Болинг поинт | -128,1℃ |
| растворљивост | Нерастворљиво у води | Густина | 1,96 г/цм³ (-184 ℃) |
| Изглед | Безбојан, незапаљив, компресибилни гас без мириса | Апликација | користи се у процесу плазма јеткања за различита интегрисана кола, а користи се и као ласерски гас, расхладно средство итд. |
| ДОТ ИД број | УН1982 | ДОТ/ИМО НАЗИВ ДОСТАВЕ: | Тетрафлуорометан, компримовани или расхладни гас Р14 |
| ДОТ класа опасности | Класа 2.2 |
| Ставка | Вредност, И степен | Вредност, оцена ИИ | Јединица |
| Чистоћа | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ппмв |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ппмв |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ппмв |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ппмв |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0.2 | ппмв |
| Остали флуороугљеници | ≤1.0 | ≤0,5 | ппмв |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ппмв |
| H2 | ≤1.0 | —— | ппмв |
| Киселост | ≤0.1 | ≤0.1 | ппмв |
| *други флуороугљеници се односе на Ц2F6、Ц3F8 | |||
Напомене
1) сви горе наведени технички подаци су за вашу референцу.
2) алтернативна спецификација је добродошла за даљу дискусију.
