Produk
Karbon Tetrafluorida
Tetrafluorometana, ogé katelah karbon tetrafluorida, nyaéta fluorokarbon pangbasajanna (CF4).Éta gaduh kakuatan beungkeutan anu luhur pisan kusabab sifat beungkeut karbon-fluorin.Éta ogé tiasa digolongkeun kana haloalkana atanapi halometana.Kusabab tina sababaraha beungkeut karbon-fluorin, sarta éléktronegativitas pangluhurna fluorine, karbon dina tetrafluorometana boga muatan parsial positif signifikan nu strengthens tur pondok opat beungkeut karbon-fluorin ku nyadiakeun karakter ionik tambahan.Tetrafluoromethane mangrupakeun gas rumah kaca potent.
Tetrafluoromethane kadangkala dipake salaku refrigerant suhu low.Hal ieu dianggo dina mikrofabrikasi éléktronik nyalira atanapi digabungkeun sareng oksigén salaku etchant plasma pikeun silikon, silikon dioksida, sareng silikon nitrida.
| Rumus kimia | CF4 | Beurat molekular | 88 |
| CAS No. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| Titik lebur | -184 ℃ | Titik boling | -128,1 ℃ |
| kaleyuran | Teu leyur dina cai | Kapadetan | 1,96g/cm³（-184℃） |
| Penampilan | Gas anu teu warnaan, teu aya bauan, teu kaduruk, tiasa dikomprés | Aplikasi | dipaké dina prosés etching plasma pikeun sagala rupa sirkuit terpadu, sarta dipaké ogé salaku gas laser, refrigerant jsb. |
| Nomer ID DOT | UN1982 | NAMA PENGIRIMAN DOT/IMO: | Tetrafluoromethane, Dikomprés atanapi Refrigerant Gas R14 |
| Kelas Hazard DOT | Kelas 2.2 |
| Barang | Nilai, kelas I | Nilai, kelas II | Unit |
| Kasucian | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Fluorokarbon séjén | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Kaasaman | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *fluorokarbon séjén tingal C2F6、C3F8 | |||
Catetan
1) sadaya data téknis anu dituduhkeun di luhur nyaéta pikeun rujukan anjeun.
2) spésifikasi alternatif wilujeng sumping pikeun diskusi salajengna.
