Punkt | Teknisk egenskap | |
Argon (Ar) renhet (volymfraktion)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
Väte (H2) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
Kväve (N2) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
Syre (O2) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
Totalhalt av kolmonoxid (CO) och koldioxid (CO)2), (volymfraktion)/10-6≤ | Kolmonoxid: 0,1 Koldioxid: 0,1 | 0,5 |
Total kolvätehalt (beräknad med metan) (volymfraktion)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
Vatten (H2O) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
Totalt föroreningsinnehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 1 | 8 |
Spannmål | Överenskommet mellan leverantören och begäranden | Överenskommet mellan leverantören och begäranden |
Obs: Vattenhalten i flytande argon ska mätas efter förgasning. |
Användningsområde: Används huvudsakligen för spolning, skydd och trycksättning av systemet. Det kan även användas vid kemisk ångavsättning, sputtering, plasma- och aktiv jonetsning, glödgning och andra olika processer, samt i elektronisk specialblandad gas.