Punkt | Teknisk egenskap | ||
Rent syre | Syre med hög renhet | Ultrarent syre | |
Syre (O2) renhet (volymfraktion)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,9999 |
Väte (H2) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Argon (Ar) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Kväve (N2) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Koldioxid (CO2) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Total kolvätehalt (volymfraktion) (beräknad med metan)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Vatten (H2O) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Användningsområde: Används huvudsakligen vid framställning av standardgasblandningar, vetenskaplig forskning, produktion av integrerade kretsar och halvledarkomponenter, och andra områden med höga krav på syrgasrenhet.