பொருள் | தொழில்நுட்ப சொத்து | ||
உயர் தூய்மை செனான் ஜிபி/டி5828-2006 | அல்ட்ராப்யூர் செனான் | ||
செனான் (Xe) தூய்மை (தொகுதி பின்னம்)/10-2≥ (எண்) | 99.999 (99.999) விலை | 99.9995 (99.9995) | 99.9999 |
நைட்ரஜன் (N2) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ (எண்) | 2.5 प्रकालिका प्रक� | 1.5 समानी समानी स्तु� | 0.2 |
ஆக்ஸிஜன் (O2) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ (எண்) | 1.5(ஓ2+ஆர்) | 0.5(ஓ2+ஆர்) | 0.1 |
ஆர்கான் (Ar) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ (எண்) | 0.05 (0.05) | ||
ஹைட்ரஜன் (H2) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ (எண்) | 0.5 | 0.5 | 0.05 (0.05) |
கார்பன் மோனாக்சைடு (CO) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ (எண்) | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO)2) |
கார்பன் டை ஆக்சைடு (CO2) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ (எண்) | 0.3 | 0.1 | |
மீத்தேன் (CH4) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ (எண்) | 0.3 | 0.1 | 0.05 (0.05) |
நீர் (எச்2O) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ (எண்) | 2 | 1 | 0.1 |
கிரிப்டான் (Kr) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ (எண்) | 2 | 1 | 0.1 |
நைட்ரஸ் ஆக்சைடு (N2O) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ (எண்) | 0.2 | 0.1 | 0.05 (0.05) |
புளோரைடு (சி2F6) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ (எண்) | 0.5 | 0.1 | 0.05 (0.05) |
ஃப்ளோரைடு (SF)6) உள்ளடக்கம் (தொகுதி பின்னம்)/10-6≤ (எண்) | பொருந்தாது | பொருந்தாது | 0.05 (0.05) |
பயன்பாட்டுத் துறைகள்: முக்கியமாக குறைக்கடத்தித் தொழில், விண்வெளி, மின்சார ஒளி மூலத் தொழில், மருத்துவ சிகிச்சை, மின்சார வெற்றிடம், இருண்ட பொருள் ஆராய்ச்சி, லேசர் மற்றும் பிற துறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.