Öğe | Teknik Mülkiyet |
Yüksek saflıkta helyum | |
Helyum He saflığı (hacim oranı)/10-2≥ | 99.999 |
Neon (Ne) içeriği (hacim oranı)/10-6≤ | 4 |
Hidrojen (H2) içerik (hacim kesri)/10-6 ≤ | 1 |
Oksijen (O2) içerik (hacim kesri)/10-6 ≤ | 1 |
Argon (Ar) içeriği (hacim kesri)/10-6 ≤ | |
Azot (N)2) içerik (hacim kesri)/10-6 ≤ | 2 |
Karbon monoksit (CO) içeriği (hacim oranı)/10-6≤ | 0,5 |
Karbondioksit (CO2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 0,5 |
Metan (CH4) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 0,5 |
Su H2O içeriği (hacim kesri)/10-6≤ | 3 |
Toplam dergi içeriği/10-6≤ | 10 |