Öğe | Teknik Mülkiyet | ||
Saf azot | Yüksek saflıkta azot | Ultra saf azot | |
Azot (N)2) saflık (hacim oranı)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99.9999 |
Oksijen (O2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
Argon (Ar) içeriği (hacim kesri)/10-6≤ | - | - | 2 |
Hidrojen (H2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
Karbon monoksit (CO) içeriği (hacim oranı)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Karbondioksit (CO2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
Metan (CH4) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
Su (H)2O) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |