Öğe | Teknik Özellik | ||
Saf oksijen | Yüksek saflıkta oksijen | Ultra saf oksijen | |
Oksijen (O2) saflık (hacim oranı)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Hidrojen (H2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
Argon (Ar) içeriği (hacim kesri)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
Azot (N2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
Karbondioksit (CO2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
Toplam hidrokarbon içeriği (hacim kesri) (metan ile hesaplanmıştır)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0.1 |
Su (H2O) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Uygulama alanı: Başlıca standart gaz karışımlarının hazırlanmasında, bilimsel araştırmalarda, entegre devre ve yarı iletken cihaz üretiminde ve oksijen saflığına yüksek gereksinim duyulan diğer alanlarda kullanılır.