Öğe | Teknik Mülkiyet | ||
Saf oksijen | Yüksek saflıkta oksijen | Ultra saf oksijen | |
Oksijen (O2) saflık (hacim oranı)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Hidrojen (H2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Argon (Ar) içeriği (hacim kesri)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Azot (N)2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Karbondioksit (CO2) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Toplam hidrokarbon içeriği (hacim kesri) (metan ile hesaplanmıştır)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Su (H)2O) içerik (hacim kesri)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Uygulama alanı: Standart gaz karışımlarının hazırlanmasında, bilimsel araştırmalarda, entegre devre ve yarı iletken cihaz üretiminde ve oksijen saflığına yüksek gereksinim duyulan diğer alanlarda kullanılır.