Продукти
Чотирифтористий вуглець
Тетрафторметан, також відомий як чотирифтористий вуглець, є найпростішим фторвуглецем (CF4).Він має дуже високу міцність зв’язку завдяки природі зв’язку вуглець–фтор.Його також можна класифікувати як галогеналкан або галометан.Через численні зв’язки вуглець–фтор і найвищу електронегативність фтору вуглець у тетрафторметані має значний позитивний частковий заряд, який зміцнює та скорочує чотири зв’язки вуглець–фтор, надаючи додатковий іонний характер.Тетрафторметан є сильним парниковим газом.
Тетрафторметан іноді використовується як низькотемпературний холодоагент.Він використовується в мікровиробництві електроніки окремо або в поєднанні з киснем як плазмовий травитель для кремнію, діоксиду кремнію та нітриду кремнію.
| Хімічна формула | CF4 | Молекулярна вага | 88 |
| Номер CAS | 75-73-0 | № EINECS | 200-896-5 |
| Точка плавлення | -184 ℃ | Болінгова точка | -128,1 ℃ |
| розчинність | Нерозчинний у воді | Щільність | 1,96 г/см³（-184℃） |
| Зовнішній вигляд | Безбарвний, негорючий, стисливий газ без запаху | застосування | використовується в процесі плазмового травлення для різних інтегральних схем, а також використовується як лазерний газ, холодоагент тощо. |
| Ідентифікаційний номер DOT | UN1982 | DOT/IMO НАЗВА ДОСТУПУ: | Тетрафторметан, стиснений газ або холодоагент R14 |
| Клас небезпеки DOT | Клас 2.2 |
| Пункт | Цінність, І ступінь | Значення ІІ ступеня | одиниця |
| Чистота | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Інші фторвуглеці | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Кислотність | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *інші фторвуглеці стосуються С2F6、C3F8 | |||
Примітки
1) усі технічні дані, зазначені вище, наведені для довідки.
2) альтернативна специфікація вітається для подальшого обговорення.
