آئٹم | ٹیکنیکل پراپرٹی | ||
اعلی طہارت زینون ۔ GB/T5828-2006 | الٹرا پیور زینون | ||
زینون (Xe) پاکیزگی (حجم کا حصہ)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
نائٹروجن (N2) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
آکسیجن (O2) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 1.5 (O2+Ar) | 0.5 (O2+Ar) | 0.1 |
Argon (Ar) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 0.05 | ||
ہائیڈروجن (H2) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
کاربن مونو آکسائیڈ (CO) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05(CO+CO2) |
کاربن ڈائی آکسائیڈ (CO2) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
میتھین (CH4) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
پانی (H2O) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
کرپٹن (Kr) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
نائٹرس آکسائیڈ (N2O) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
فلورائیڈ (C2F6) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
فلورائیڈ (SF6) مواد (حجم کا حصہ)/10-6≤ | N/A | N/A | 0.05 |
ایپلی کیشن فیلڈز: بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر انڈسٹری، ایرو اسپیس، الیکٹرک لائٹ سورس انڈسٹری، میڈیکل ٹریٹمنٹ، الیکٹرک ویکیوم، ڈارک میٹر ریسرچ، لیزر اور دیگر شعبوں میں استعمال کیا جاتا ہے۔