Element | Texnik mulk | |
Argon (Ar) tozaligi (hajm ulushi)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
Vodorod (H2) mazmuni (hajm ulushi)/10-6≤ | 0.1 | 1 |
Azot (N2) mazmuni (hajm ulushi)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
Kislorod (O2) mazmuni (hajm ulushi)/10-6≤ | 0.2 | 0,5 |
Uglerod oksidi (CO) va karbonat angidrid (CO2), (hajm ulushi)/10-6≤ | Uglerod oksidi: 0,1 Karbonat angidrid: 0,1 | 0,5 |
Umumiy uglevodorod (metan bilan hisoblangan) miqdori (hajm ulushi)/10-6≤ | 0.1 | 0,5 |
Suv (H2O) mazmuni (hajm ulushi)/10-6≤ | 0.2 | 0,5 |
Nopoklikning umumiy miqdori (hajm ulushi) / 10-6≤ | 1 | 8 |
Don | Yetkazib beruvchi va Buyurtmachi tomonidan kelishilgan | Yetkazib beruvchi va Buyurtmachi tomonidan kelishilgan |
Eslatma: Suyuq argonning suv miqdori gazlashdan keyin o'lchanadi |
Qo'llash sohasi: asosan tizimni tozalash, himoya qilish va bosim o'tkazish uchun ishlatiladi. Bundan tashqari, u kimyoviy bug'larni cho'ktirish, purkash, plazma va faol ionlarni tozalash, tavlanish va boshqa turli jarayonlarda, shuningdek, elektron maxsus aralash gazda qo'llanilishi mumkin.