Element | Texnik mulk | ||
Toza kislorod | Yuqori toza kislorod | Ultra toza kislorod | |
Kislorod (O2) tozaligi (hajm ulushi)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Vodorod (H2) mazmuni (hajm ulushi)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
Argon (Ar) tarkibi (hajm ulushi)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
Azot (N2) mazmuni (hajm ulushi)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
Karbonat angidrid (CO2) mazmuni (hajm ulushi)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
Umumiy uglevodorod miqdori (hajm ulushi) (metan bilan hisoblangan)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0.1 |
Suv (H2O) mazmuni (hajm ulushi)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Qo'llash sohasi: asosan standart gaz aralashmasini tayyorlashda, ilmiy tadqiqotlarda, integral mikrosxemalar va yarimo'tkazgich qurilmalarini ishlab chiqarishda va kislorod tozaligi uchun yuqori talablarga ega bo'lgan boshqa sohalarda qo'llaniladi.