Mục | Tài sản kỹ thuật | ||
Oxy tinh khiết | Oxy tinh khiết cao | Oxy siêu tinh khiết | |
Oxy (O2) độ tinh khiết (phần thể tích)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,9999 |
Hiđrô (H2) hàm lượng (phần thể tích)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Hàm lượng Argon (Ar) (phần thể tích)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Nitơ (N2) hàm lượng (phần thể tích)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Cacbon đioxit (CO2) hàm lượng (phần thể tích)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Tổng hàm lượng hydrocarbon (phần thể tích) (tính theo mêtan)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Nước (H2O) hàm lượng (phần thể tích)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Lĩnh vực ứng dụng: chủ yếu được sử dụng trong việc chuẩn bị hỗn hợp khí chuẩn, nghiên cứu khoa học, sản xuất mạch tích hợp và thiết bị bán dẫn và các lĩnh vực khác có yêu cầu cao về độ tinh khiết của oxy.