פּראָדוקטן
קאַרבאָן טעטראַפלאָרידע
טעטראַפלואָראָמעטהאַנע, אויך באקאנט ווי טשאַד טעטראַפלאָרידע, איז די סימפּלאַסט פלואָראָקאַרבאָן (CF4).עס האט אַ זייער הויך באַנדינג שטאַרקייַט רעכט צו דער נאַטור פון די טשאַד-פלאָרינע בונד.עס קענען אויך זיין קלאַסאַפייד ווי אַ האַלאָאַלקאַן אָדער האַלאָמעטהאַנע.ווייַל פון די קייפל טשאַד-פלאָראָרינע קייטן און די העכסטן עלעקטראָנעגאַטיוויטי פון פלאָרין, די טשאַד אין טעטראַפלואָראָמעטהאַנע האט אַ באַטייטיק positive פּאַרטיייש אָפּצאָל וואָס סטרענגטאַנז און פאַרקירצט די פיר טשאַד-פלאָראָרינע קייטן דורך צושטעלן נאָך ייאַניק כאַראַקטער.טעטראַפלואָראָמעטהאַנע איז אַ שטאַרק אָראַנזשעריי גאַז.
טעטראַפלואָראָמעטהאַנע איז מאל געניצט ווי אַ נידעריק טעמפּעראַטור ריפרידזשעראַנט.עס איז געניצט אין עלעקטראָניק מיקראָפאַבריקיישאַן אַליין אָדער אין קאָמבינאַציע מיט זויערשטאָף ווי אַ פּלאַזמע עטשאַנט פֿאַר סיליציום, סיליציום דייאַקסייד און סיליציום ניטריד.
| כעמישער פאָרמולע | CF4 | מאָלעקולאַר וואָג | 88 |
| CAS No. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| מעלטינג פונט | -184℃ | בלינג פונט | -128.1℃ |
| סאָסיביליטי | ינסאַליאַבאַל אין וואַסער | געדיכטקייַט | 1.96 ג / סענטימעטער ³ (-184 ℃) |
| אויסזען | א בלאַס, אָודערלאַס, ניט-פלאַממאַבלע, קאַמפּרעסאַבאַל גאַז | אַפּפּליקאַטיאָן | געניצט אין פּלאַזמע עטשינג פּראָצעס פֿאַר פאַרשידן ינאַגרייטיד סערקאַץ, און אויך געניצט ווי לאַזער גאַז, ריפרידזשעראַנט עטק. |
| DOT ID נומער | UN1982 | פּונקט / ימאָ שיפּינג נאָמען: | טעטראַפלואָראָמעטהאַנע, קאַמפּרעסט אָדער ריפרידזשעראַנט גאַז R14 |
| פּונקט האַזאַרד קלאַס | קלאַס 2.2 |
| נומער | ווערט, גראַד I | ווערט, גראַדע וו | אַפּאַראַט |
| ריינקייַט | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| אנדערע פלואָראָקאַרבאַנז | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| אַסידאַטי | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| * אנדערע פלואָראָקאַרבאַנז אָפּשיקן צו C2F6, סי3F8 | |||
הערות
1) אַלע די טעכניש דאַטן געוויזן אויבן זענען פֿאַר דיין רעפֿערענץ.
2) אנדער ברירה באַשרייַבונג איז באַגריסן פֿאַר ווייַטער דיסקוסיע.
