Nkan | Ohun-ini imọ-ẹrọ | ||
Atẹgun mimọ | Ga ti nw atẹgun | Ultrapure atẹgun | |
Atẹ́gùn (O2) mimọ (ida iwọn didun)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Hydrogen (H2) akoonu (ida iwọn didun)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Argon (Ar) akoonu (ida iwọn didun)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
Nitrojiini (N2) akoonu (ida iwọn didun)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
Erogba oloro (CO2) akoonu (ida iwọn didun)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Apapọ akoonu hydrocarbon (ida iwọn didun) (iṣiro nipasẹ methane)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
Omi (H2O) akoonu (ida iwọn didun)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Aaye ohun elo: ni akọkọ ti a lo ni igbaradi ti idapọ gaasi boṣewa, iwadii imọ-jinlẹ, iṣelọpọ ti awọn iyika iṣọpọ ati awọn ẹrọ semikondokito, ati awọn aaye miiran pẹlu awọn ibeere giga fun mimọ atẹgun.