আইটেম | কারিগরি সম্পত্তি |
উচ্চ বিশুদ্ধতা নিয়ন | |
নিয়ন (Ne) বিশুদ্ধতা (আয়তন ভগ্নাংশ)/১০-2≥ | ৯৯.৯৯৯ |
হিলিয়াম (He) এর পরিমাণ (আয়তন ভগ্নাংশ)/১০-6≤ | 6 |
হাইড্রোজেন (এইচ2) বিষয়বস্তু (আয়তন ভগ্নাংশ)/১০-6≤ | 1 |
অক্সিজেন+আর্গন (অক্সিজেন দ্বারা গণনা করা হয়) (O2+Ar) কন্টেন্ট (আয়তন ভগ্নাংশ)/১০-6≤ | 1 |
নাইট্রোজেন (এন)2) বিষয়বস্তু (আয়তন ভগ্নাংশ) zz/10-6≤ | 2 |
কার্বন মনোক্সাইড (CO) এর পরিমাণ (আয়তন ভগ্নাংশ)/১০-6≤ | ০.২ |
কার্বন ডাই অক্সাইড (CO2) বিষয়বস্তু (আয়তন ভগ্নাংশ)/১০-6≤ | ০.২ |
মিথেন (CH4) বিষয়বস্তু (আয়তন ভগ্নাংশ)/১০-6≤ | ০.১ |
জল (এইচ2O) বিষয়বস্তু (ভগ্নাংশের আয়তন)/10-6≤ | 2 |
মোট অপবিত্রতার পরিমাণ (ভগ্নাংশের আয়তন)/১০-6≤ | 10 |