Punkt | Teknisk egenskab |
Neon med høj renhed | |
Neon (Ne) renhed (volumenfraktion)/10-2≥ | 99.999 |
Heliumindhold (He) (volumenfraktion)/10-6≤ | 6 |
Brint (H2) indhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 1 |
Ilt+argon (beregnet ud fra ilt) (O2+Ar) indhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 1 |
Kvælstof (N2) indhold (volumenfraktion) zz/10-6≤ | 2 |
Kulilteindhold (CO) (volumenfraktion)/10-6≤ | 0,2 |
Kuldioxid (CO2) indhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 0,2 |
Metan (CH4) indhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 0,1 |
Vand (H2O) indhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 2 |
Totalt urenhedsindhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 10 |